shallow trench isolation
Shallowtrenchisolation(STI)isanenablingtechnologyforthefabricationofadvancedsub-0.25micronintegrateddevices.AtypicalSTIprocesssequence ...,,2014年12月19日—STI=ShallowTrenchIsolation顧名思義就是在CMOS上挖一條溝渠來做隔離,那是隔離什麼呢?因為在CMOS...
何謂STI? - WU MIN SHIN
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2014年12月19日—STI=ShallowTrenchIsolation顧名思義就是在CMOS上挖一條溝渠來做隔離,那是隔離什麼呢?因為在CMOS上會有P+與N+結合起來的depletionregion(空.
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